SILAI社製6インチ、8インチのSiCウエハを取り扱っております。

レイズアールジャパン株式会社はSILAI製品の国内総代理店となります。

6インチSiCウエハ

Production, Research, Dummyの3グレードをご用意しております。

<6インチウエハ仕様>

グレード
DummyResearchProduction
ポリタイプ4H
結晶方位4ºtoward <11-20>± 0.5º
オリフラ47.5 ± 1.5mm
抵抗率0.011 – 0.028 ohm·cm0.015 – 0.025 ohm·cm
ウエハ直径及び許容径150 ± 0.25 mm
ウエハ厚み350 ± 25 μm（カスタマイズ可能）
LTV (Local Thickness Valuation)≤ 10 μm≤ 5 μm≤ 2 μm
TTV (Total Thickness Valuation)≤ 15 μm≤ 8 μm≤ 3 μm
Bow (ウェーハ中央での基準面からの隔たり)-45 μm – 45 μm-25 μm – 25 μm-15 μm – 15 μm
Warp (ウエハ中央参照面からのズレ最大値とズレ最小値の差)≤ 55 μm≤ 35 μm≤ 20 μm
マイクロパイプ密度≤ 1ea/cm2≤ 0.5ea/cm2≤ 0.2ea/cm2
TSD (貫通らせん転位)≤ 3000ea/cm2≤ 500ea/cm2≤ 300ea/cm2
BPD (基底面転位)≤ 5000ea/cm2≤ 1500ea/cm2≤ 800ea/cm2
TED (貫通刃状転位)N/A≤ 6000ea/cm2≤ 3000ea/cm2
表面粗さRa ≤ 0.2nm (Si面), Ra ≤ 2nm (C面)
月間生産量3,000 – 5,000枚
標準納期100枚以下: 3~4週間, 100-1000枚: 6-7週間, 1,000枚以上: 8週間

8インチSiCウエハ

6インチ同様、Production, Research, Dummyの3グレードをご用意しております。

<8インチウエハ仕様>

グレード
DummyResearchProduction
ポリタイプ4H
結晶方位4ºtoward <11-20>± 0.5º
位置決めノッチ
抵抗率0.011 – 0.028 ohm·cm0.015 – 0.025 ohm·cm
ウエハ直径及び許容径200 ± 0.25 mm
ウエハ厚み350 ± 25 μm（カスタマイズ可能）
LTV (Local Thickness Valuation)≤ 15 μm≤ 8 μm≤ 3 μm
TTV (Total Thickness Valuation)≤ 20 μm≤ 10 μm≤ 5 μm
Bow (ウェーハ中央での基準面からの隔たり)-60 μm – 60 μm-30 μm – 30 μm-20 μm – 20 μm
Warp (ウエハ中央参照面からのズレ最大値とズレ最小値の差)≤ 70 μm≤ 40 μm≤ 25 μm
マイクロパイプ密度≤ 1ea/cm2≤ 0.5ea/cm2≤ 0.2ea/cm2
TSD (貫通らせん転位)≤ 3000ea/cm2≤ 500ea/cm2≤ 300ea/cm2
BPD (基底面転位)≤ 5000ea/cm2≤ 3000ea/cm2≤ 1500ea/cm2
TED (貫通刃状転位)N/A≤ 8000ea/cm2≤ 3000ea/cm2
表面粗さRa ≤ 0.2nm (Si面), Ra ≤ 2nm (C面)
月間生産量3,000 – 5,000枚
標準納期100枚以下: 3~4週間, 100-1000枚: 6-7週間, 1,000枚以上: 8週間

各種カスタマイズにつきましてはお問い合わせください。

  • ウエハ厚み変更
  • 位置決め変更 (オリフラ、ノッチ、フラットタイプ)
  • レーザマーキング
  • その他